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林教授盯着白板上那些工艺名词,额头的汗珠顺着鼻梁滑落。
他在半导体领域摸爬滚打三十年,太清楚这些词背后的技术壁垒有多高。
但林教授还是说出了心中疑惑。
“韩总,这些工艺设备,国内连影子都没有。
离子注入机全世界只有美国应用材料公司和日本日新电机能造,一台设备三千万美元起步,而且对华夏限制。”
“深反应离子刻蚀机更狠,德国普拉斯玛的设备精度能达到纳米级,但他们的出口清单里是明确限制的。”
秦远山也跟着补充:
“韩总,我查过资料。
低压化学气相沉积设备,国内最好的是中科院微电子所那台,还是八十年代从日本进口的二手货,精度根本达不到igbt的要求。”
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